摘要：時間延遲積分電荷耦合器件(TDI CCD)主要應用于弱光信號探測,其在強光應用場合容易出現彌散現象。針對該問題,研制了橫向抗彌散多光譜TDI CCD圖像傳感器。該器件包含四個多光譜段(B1~B4區),有效像元數為3 072元,像元尺寸為28μm×28μm。大像元可以在弱光環境下提供良好的光譜區分能力,通過濾光片可獲得藍光、綠光、紅光和近紅外波段的圖像。為了減小抗彌散對器件滿阱電子數的不利影響,采用了緊湊的抗彌散結構,僅占像元面積的7.1%。器件滿阱電子數為500ke-,抗彌散能力為100倍,讀出噪聲小于等于70e-,動態范圍大于等于7143∶1。