摘要：柔性全固態薄膜鋰電池具有輕質、可賦形等特點,在可穿戴、柔性顯示等領域具有非常廣闊的應用前景。基于PVD技術實現了LiCoO2正極、LiPON固態電解質和金屬Li負極等關鍵材料的薄膜化沉積,并最終以柔性超薄不銹鋼為基底成功制備了LiCoO2/LiPON/Li柔性全固態薄膜鋰電池。采用X射線衍射光譜法(XRD)、掃描電子顯微鏡法(SEM)對薄膜結構、形貌進行了表征。采用LAND測試系統以及電化學工作站對電池的電化學性能進行測試分析,電池以10μA/cm^2電流充/放電時,首次放電面積比容量達到13.1μAh/cm^2。電池可以65μA/cm^2(5)恒電流充/放電。