摘要：對國內(nèi)近十年來硼擴散技術(shù)的進(jìn)展進(jìn)行了介紹,引用不同科研人員的研究成果說明以下結(jié)論:采用旋涂SiO2納米漿料作為硼源,能夠改善太陽能電池片擴散區(qū)域方塊電阻的均勻性,粒徑越小,均勻性越好;改善管內(nèi)進(jìn)氣方式,增大硼源進(jìn)氣口距離太陽能電池片的距離,能夠改善太陽能電池片擴散區(qū)域方塊電阻的均勻性;在BBr3液態(tài)源高溫擴散過程中引入二氯乙烯,能夠提高硼擴散的片內(nèi)均勻性和片間均勻性。