摘要：微電子技術的發展帶動了半導體器件的發展，半導體器件的進步促使器件截止頻率得到飛速提升，目前已達到太赫茲頻段，這使得基于固態器件的太赫茲電路頻率特性也隨之發展到太赫茲頻段。本文重點闡述了太赫茲電路的發展概況，詳細概述了InP基雙極器件和場效應器件頻率特性、應用，以及太赫茲電路在系統中實際應用中的發展現狀和展望。