基于DMD的高速高精度空間光調(diào)制器
作者：袁志軍; 王開志 上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院; 上海200240
摘要：現(xiàn)有主流商品化的空間光調(diào)制器（Spatial Light Modulator,SLM）基于硅基液晶[1]（Liquid Crystal on Silicon,LCoS）技術(shù),存在著調(diào)制精度低、速度慢、幅度和相位無(wú)法獨(dú)立調(diào)制等問題。本文提出的基于數(shù)字微鏡陣列器件[2]（Digital Mirror Device,DMD）和共軸光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的空間光調(diào)制器克服了上述存在的問題,并且提高了其光強(qiáng)耐受度。
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