摘要：為了精密檢測靶丸X射線光學厚度均勻性,建立了基于精密軸系和光纖陣列探測的靶丸X射線光學厚度檢測裝置,開展了光學厚度輪廓儀光路精密調校技術的研究,應用白光共焦光譜技術和光學顯微成像技術,解決了氣浮轉臺精密調整、X射線光路對中的難題,實現了對塑料靶丸殼層缺陷、表面質量、壁厚均勻性、殼層材料成分均勻性等多種耦合擾動綜合效應的表征。對系統的穩定性進行了測試,實驗結果表明,該系統的測量重復性偏差可基本控制在0.01%以內,空間分辨率約為100μm,滿足ICF靶物理研究對靶丸X射線光學厚度擾動的高精度檢測需求。