摘要：針對(duì)傳統(tǒng)剪切散斑干涉技術(shù)只能測量粗糙表面,無法直接測量鏡面物體的缺陷,提出了一種改進(jìn)的剪切成像裝置,利用被測物表面反射由激光經(jīng)毛玻璃組擴(kuò)束后產(chǎn)生的散斑來實(shí)現(xiàn)鏡面物體缺陷檢測;同時(shí)采用雙成像的馬赫曾德干涉系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)剪切量與載波頻率的獨(dú)立調(diào)整,擴(kuò)大有效測量區(qū)域.對(duì)8k鏡面板采用頂針加載的方式,對(duì)預(yù)置缺陷的鏡面表面材料采用熱加載的方式,進(jìn)行缺陷檢測.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:該方法檢測出的缺陷分布與加載方式、預(yù)置缺陷的分布基本保持一致,可實(shí)現(xiàn)對(duì)鏡面材料內(nèi)部缺陷的快速動(dòng)態(tài)檢測.