摘要：在研磨氧化鎵晶片時,由于銅質研磨盤的導熱系數和熱膨脹率較大,因此研磨盤各個部位的熱變形量也會因為溫度的不同而不同。通常在加工前需要對研磨盤加工時的變形量進行預測,并對研磨盤表面進行平面補償。選取了3組不同補償角的研磨盤,基于ANSYS Workbench對它們分別進行瞬態熱結構耦合分析。結果表明:當補償角為0.003°時銅盤補償效果最好。該方法為不同研磨工況下研磨盤補償角的選定提供了參考。