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引線鍵合系統(tǒng)超聲換能器的設(shè)計(jì)與仿真分析

作者:瞿子博; 馮武衛(wèi); 張玉蓮; 賈森君 浙江海洋大學(xué)船舶與機(jī)電工程學(xué)院; 浙江舟山316022; 浙江海洋大學(xué)東海科學(xué)技術(shù)學(xué)院; 浙江舟山316022; 舟山市知?jiǎng)?chuàng)科技開(kāi)發(fā)有限公司; 浙江舟山316026

摘要:超聲換能器是引線鍵合系統(tǒng)的核心部件。給出了引線鍵合系統(tǒng)超聲換能器的壓電換能器和變幅桿的設(shè)計(jì)方法,設(shè)計(jì)了一款80kHz集成電路引線鍵合用超聲換能器,運(yùn)用ANSYS軟件建立其有限元模型并進(jìn)行了動(dòng)力學(xué)仿真。瞬態(tài)分析結(jié)果顯示,換能器在受電壓激勵(lì)振動(dòng)后至少要經(jīng)過(guò)500個(gè)周期才能進(jìn)入正常鍵合工作狀態(tài)。

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機(jī)械設(shè)計(jì)與制造工程

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