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摘要:石墨烯因其優異的電學性質,使它成為最有可能替代硅的微電子材料。但是本征石墨烯沒有帶隙,因此如何在石墨烯中引入帶隙是石墨烯走入實際應用的關鍵前提和當前研究熱點。主要介紹了近些年出現的石墨烯加工技術,包括能量束加工技術、熱驅動納米粒子切割方法、基于掃描探針顯微鏡的電場加工技術、光催化剪裁技術、基于原子力顯微鏡的機械加工技術及分子自組裝技術,并分析了不同加工技術的優缺點,并對未來石墨烯加工技術的發展進行了展望。
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