基于ScAlN/FeGa結構的磁電聲表面波諧振器
作者：姜建利; 楊雪梅; 劉婉; 白飛明 電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室; 四川成都610054
摘要：該文研究基于磁致伸縮FeGa合金襯底的磁電聲表面波(SAW)諧振器。首先,在FeGa磁致伸縮襯底上濺射沉積了ScAlN壓電薄膜,完成了單端口聲表面波諧振器的制備;其次,采用X線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)等手段對ScAlN薄膜進行結構分析;最后,采用矢量網絡分析儀和微波探針臺測試S參數和群時延。結果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱狀生長且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;當ScAlN壓電薄膜厚為0.7μm,波長為15.74μm時,SAW諧振器的諧振頻率為218.75MHz,相速度為3443m/s,機電耦合系數為0.06%,與COMSOL仿真計算結果較吻合。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
相關熱門期刊
