摘要：針對彩膜小尺寸高分辨率平板電腦產品的曝光基臺色斑(Stage Mura)不良,對異常區域各項特性進行分析,發現Mura區域的黑矩陣(BM)的關鍵線寬(CD)和坡度角形貌與正常區存在異常。推測原因為曝光時,不良區域與正常區域曝光溫度和曝光間隙存在差異,并進行試驗驗證。將曝光溫度和曝光間隙進行調整試驗后,使用掃描電子顯微鏡(SEM)分析黑矩陣關鍵線寬(BM CD)和坡度角,確認改善措施能減少正常區域和Mura區域BMCD和坡度角差異,不良發生率由7.2%降低為1.4%。進一步調整BM膜厚,從整體上弱化正常區域和Mura區域的透過率差異,最終基臺色斑不良率降低至0.7%。