摘要：通過磁控濺射方法制備Cu-Mg合金薄膜,隨后進行去合金化得到納米多孔銅膜。研究了Ar流量和濺射功率對合金膜表面質量和厚度的影響,分析了鹽酸濃度對納米孔形成的影響。利用結晶紫分子來表征納米多孔銅的表面增強拉曼散射性能。結果表明,磁控濺射參數設置Ar流量為45 mL/min,且功率為70 W時,能夠得到表面平整的Cu28Mg72合金薄膜。經1.00 M(mol/L)HCl腐蝕得到的多孔銅的孔最均勻,同時具有最好的拉曼信號增強效果。